L'huile des pompes à vide doit être changée régulièrement pour conserver ses propriétées de lubrification car lors des opérations de tirage au vide celle-ci se charge en humidité ce qui modifie ses caractériques physiques. Il est fortement conseillé d'adapter le type d'huile (minérale ou ester) au type de fluide présent dans l'installation (HCFC ou HFC).